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高精度程控勻膠機
簡要描述:

高精度程控勻膠機型號:SYSC-100A
產(chǎn)品應(yīng)用
(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

  • 產(chǎn)品型號:SYSC-100A
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-02-27
  • 訪  問  量:2024

產(chǎn)品分類

CLASSIFICATION
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詳細介紹

高精度程控勻膠機型號:SYSC-100A
一.    產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A高精度程控勻膠機(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二.    產(chǎn)品特點
1.     旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設(shè)計的精密高速伺服電機,具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達40000rpm/s(有負載的真實加速度)。
3.     兩項安全互鎖功能:
(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
(2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。
4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序,隨時調(diào)用。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠進程;
9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制,無需手動操作。
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預吸片步驟,“預吸片時間"Z多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間"Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。
11.   標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
三.    技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10~100mm
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時間999.9s
每段旋涂時間9999.9s
時間分辨率0.1s
預吸片時間99s
解吸片時間99s

**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.








產(chǎn)品名稱:身高體重測試儀
產(chǎn)品型號:SGT-A

身高體重測試儀 型號:SGT-A
本儀器是為測量身高、體重設(shè)計制造的,它以可靠的硬件設(shè)計和科學的軟件技術(shù)相結(jié)合,采用MCS-51 單片微處理技術(shù)和高速、高精度A/D轉(zhuǎn)換技術(shù),實現(xiàn)身高和體重的自動測量。測量結(jié)果既可以顯示和打印出來,又能與計算機通訊聯(lián)網(wǎng),把數(shù)據(jù)傳給計算機,以實現(xiàn)進一步的處理,還特別設(shè)計了語音報告檢測結(jié)果的功能.可廣泛用于醫(yī)院,學校,體檢站等場合的身高,體重的測量

功能特點:
◆ 全自動測量,超聲波技術(shù)測量身高(無觸碰式),精密傳感器測量體重,儀器功能豐富,操作簡單。
◆ 檢測數(shù)據(jù)數(shù)碼(LED)顯示,直觀清晰,語音自動報告檢測結(jié)果
◆ 串行數(shù)據(jù)傳輸功能,使與之相連的計算機能夠隨時掌握測量情況
◆ 特別設(shè)計的校準程序使儀器校準操作十分容易
◆ 高速熱敏打印,電腦自動計算身高體重指數(shù)(BMI)
技術(shù)參數(shù):
◆ 測量范圍:體 重:5-200kg 分度值:0.1kg
◆ 身高:80-195cm 分度值:0.1cm
◆ 測量精度:體 重:III級稱±0.1kg 身 高:±0.1cm
◆ 整機重量:≤36kg
◆ 機身高度:240cm
◆ 操作電壓:AC160-250V



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